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拐角行星减速机在单晶硅生产机械应用

文章出处：合富源人气：发表时间：2019-06-20 11:39

生产单晶硅的常用方法是Czochralski方法，它是克劳斯基方法。 Czochralski方法是用于半导体和太阳能电池单晶生长的最晶体生长技术。拉伸速度的大小和稳定性决定了晶体生长的质量。拉动过程的抖动或上升速度不均匀，这可能导致晶体生长的晶格未对准。在水晶升降结构中，拐角行星减速机是关键部件，因此客户对行星减速器有一定的要求……

拐角行星减速机在单晶硅生产机械应用

当用户要求伺服电机速度为10rpm时，输出速度在通过拐角行星减速机减速器后稳定地控制在0.1rpm。因此，合富源配备了客户的减速比：I=10/0.1=100。对于其他用户，之前使用过拐角行星减速机，安装尺寸与合富源行星减速器的标准尺寸不同。根据用户的要求，工厂在用户面前将尺寸改为与其他品牌相同的尺寸，方便客户安装和测试。

尺寸变化分为两部分，其余部分按样本标准反映：

1.输出轴直径选择为Φ22，轴长度改为40mm。

2.分布圆的直径变为Φ100。

合富源根据用户配备的伺服电机的接口尺寸完全定制。此外，对于输出尺寸与合富源伺服减速机上标注的尺寸不同的用户，我们可以根据客户的要求定制尺寸，如果尺寸变化不是特别大，价格和交货时间不会受到影响。这可以极大地保证用户安装的便利性。

避免低速抖动非常重要。行星减速器的低速抖动问题在市场上很常见，单晶硅的增长速度也不会太快。

拐角行星减速机在单晶硅生产机械应用

行星减速机厂家提出的解决方案：

1.提高减速机的精度，减少减速机的后冲。我们选择行星减速机BPF系列减速机来匹配;

2.纠正减速器内的啮合齿轮，增加啮合面;

3.采用伺服电机连接方式，采用独特的锁定结构，确保伺服电机与减速机之间连接的稳定性。

基于以上所述，客户无需使用合富源减速器，更愿意使用合富源行星减速机。客户启动正式试验并测试所需指标。

通过客户对伺服减速机的实际使用和测试，行星减速机性能稳定可靠，单晶硅棒具有良好的拉动效果。当将晶锭切割成晶片时，晶片是纯硅晶片。同时，从用户的生产成本考虑，合富源系列行星减速机用于替代其他品牌的行星减速机，这样可以在不改变性能的情况下降低设备的生产成本。

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